上海伯東殘余氣體分析儀 RGA 真空應(yīng)用
殘余氣體分析 RGA 是一種質(zhì)譜分析技術(shù), 用于研究真空中的殘余氣體. RGA 質(zhì)譜儀可以識(shí)別和量化氣體中的化學(xué)成分, 并確定壓力, 溫度和其他參數(shù).

在許多應(yīng)用中, 用戶都會(huì)面臨真空設(shè)備的清潔度問題. 了解殘余氣體的成分對(duì)于過程監(jiān)控也非常重要. 真空壓力測(cè)量可以提供真空室中殘留污染物的數(shù)量, 但無法提供污染物的種類. 上海伯東殘余氣體分析儀 (四極桿質(zhì)譜儀) 可用于進(jìn)行殘留氣體分析, 確認(rèn)腔室中殘留的污染物種類.

殘余氣體分析 RGA 是如何工作的？
與所有質(zhì)譜儀一樣, 殘余氣體分析(四極桿質(zhì)譜儀 )QMS 由三部分組成：離子源, 分析器和檢測(cè)器. 四極桿質(zhì)譜儀的所有組件都需要高真空才能工作. 中性氣體粒子在離子源中電離. 常見的電離方法是電子撞擊電離.

以這種方式產(chǎn)生的離子在進(jìn)入帶有四極電場(chǎng)的分析儀之前, 要先通過萃取透鏡. 利用高頻變化電壓和直接電壓組成的電壓, 在 4 根高精度金屬棒內(nèi)產(chǎn)生電場(chǎng). 這個(gè)四極場(chǎng)是根據(jù)離子的質(zhì)量電荷比進(jìn)行離子分辨的地方.

因此, 只有特定質(zhì)量電荷比的離子才能通過金屬棒系統(tǒng), 到達(dá)檢測(cè)器. 所有其他離子都位于不穩(wěn)定的軌道上, 并在儀器中被分辨出來. 探測(cè)器的最簡(jiǎn)單形式是一個(gè)被稱為法拉第杯的導(dǎo)電空心體. 離子通過釋放電荷被中和, 由此產(chǎn)生的電流被檢測(cè)到.

就信號(hào)強(qiáng)度而言, 法拉第杯足以在高真空環(huán)境中進(jìn)行殘余氣體分析. 在超高真空范圍內(nèi)存在極小離子電流或需要快速測(cè)量時(shí), 通常會(huì)使用二次電子倍增器 (SEM). 利用這樣的質(zhì)譜裝置, 用戶可以檢測(cè)出真空系統(tǒng)中還存在哪些物質(zhì).

真空要求:?壓力小于?10^-4hPa 的壓力, 離子才能通過帶有電動(dòng)四極桿的分析儀. 這些壓力是確保平均自由路徑足夠長(zhǎng)的必要條件, 以便離子按其軌跡到達(dá)檢測(cè)器, 而不會(huì)在途中發(fā)生碰撞. 要達(dá)到必要的真空壓力, 理想的方法是將前級(jí)泵和渦輪泵組合起來使用, 既可以是模塊化的, 也可以是即用型真空系統(tǒng). 針對(duì)不同壓力范圍開發(fā)的進(jìn)氣系統(tǒng), 可使用戶根據(jù)殘余氣體分析(四極桿質(zhì)譜儀 ) 精確調(diào)節(jié)壓力. 由于殘余氣體分析(四極桿質(zhì)譜儀 ) 在過高的壓力下使用可能會(huì)損壞, 因此建議集成總壓測(cè)量功能.

上海伯東殘余氣體分析儀 RGA 真空應(yīng)用:?四極桿質(zhì)譜儀的潛在用途非常廣泛, 因此應(yīng)用選項(xiàng)也非常多, 鑒于需要再真空下使用, 上海伯東推薦合適的質(zhì)譜儀和真空系統(tǒng).

殘余氣體分析儀	真空系統(tǒng)
殘余氣體分析儀 PrismaPro	渦輪分子泵 HiPace	隔膜泵 MVP	旋片泵 DuoVane	渦旋干泵 HiScroll
質(zhì)量數(shù)?1–300 amu 最低可檢測(cè)分壓 3 X10-15?hPa 可直接連接真空計(jì), 方便測(cè)量壓力	抽速 10 - 2300 l/s 使用壽命長(zhǎng),運(yùn)行成本低 結(jié)構(gòu)緊湊	完全干式無油真空 膜片使用壽命 低噪音, 低振動(dòng) 出色的運(yùn)行可靠性 便于維護(hù)	抽速 5.5?- 19.5?m3/h? 全球 IE2 電機(jī) ?高水蒸汽容量 ?	體積小, 重量輕, 能耗低, 對(duì)水蒸氣環(huán)境抽氣真空度更優(yōu)

殘余氣體分析儀應(yīng)用于高溫真空爐, 實(shí)現(xiàn)質(zhì)量保證和過程優(yōu)化
推薦質(zhì)譜型號(hào): 上海伯東德國 Pfeiffer ?Hicube RGA 殘余氣體分析儀
客戶案例: 殘余氣體分析儀直接與高溫真空爐連接, 測(cè)試產(chǎn)品在不同溫度下?lián)]發(fā)的產(chǎn)物變化, 進(jìn)一步分析產(chǎn)品的耐用性以及使用形態(tài). 實(shí)現(xiàn)真空過程相關(guān)的質(zhì)量控制.
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