ION Check 真空規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng)
上海伯東代理德國(guó) ph-instruments  ION Check 真空規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng), 基于 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子量規(guī)技術(shù)的長(zhǎng)期穩(wěn)定真空校準(zhǔn)系統(tǒng).

ph-instruments ION Check 真空規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng)適用于校準(zhǔn)和比較高真空計(jì). 結(jié)構(gòu)緊湊, 設(shè)計(jì)包含無(wú)油高真空系統(tǒng) Hicube 80, 氣體計(jì)量單元, 讀取和校準(zhǔn)具有模擬輸出的真空表的硬件和軟件.

ION Check 真空規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

測(cè)量原理	旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表
可調(diào)壓力范圍	5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar) 4X10-7 Torr 至 7 x 10-3 Torr (最大 1 Torr)
精度	0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1% 0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr 讀數(shù)的 1%
測(cè)量時(shí)間 SRG	3, 5, 10, 20, 30 秒
單次循環(huán)時(shí)間	< 1 秒
長(zhǎng)期穩(wěn)定性	< 每年 1% 漂移
DUT 數(shù)量	2個(gè)
接口	KF 25
高真空泵組	Hicube 80 Eco DN 63 CF-F
旁通泵	隔膜泵
數(shù)字接口	USB-C, 藍(lán)牙(可選), RS 232, RS 485, 網(wǎng)絡(luò)接口
軟件	Win10, ION Check APP
兼容插頭（包括電纜）	MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B
通用插頭	CC/HC/皮拉尼, 帶 24 VDC 電源和 0-10 VDC 模擬輸出（可根據(jù)要求提供電纜）
校準(zhǔn)氣體（可選）	N2 （可根據(jù)要求提供）

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