HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列閱讀數(shù): 14207
美國 HVA 真空閘閥 21200 系列
美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應(yīng)用。超長使用壽命1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進(jìn)口閥門與低溫泵、渦輪分子泵,離子泵等完美聯(lián)用。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
直線驅(qū)動(dòng)允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動(dòng)器。獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到最小。HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒有機(jī)械鎖,因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè)。所有移動(dòng)的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動(dòng)更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內(nèi)部表面區(qū)域。閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成,確保了閥門的最大完整性。 在保養(yǎng)方面,支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個(gè)系統(tǒng)中拆卸出來。閥門手動(dòng)、氣動(dòng)可選,標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用。HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動(dòng)超控。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)
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閥門材質(zhì): |
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閥門主體 |
304不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷 |
硬質(zhì)不繡鋼 |
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密封件 |
氟橡膠 |
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真空: |
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壓力范圍 |
1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關(guān)閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度(不含電磁閥): |
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佛橡膠密封 |
150 °c |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
手動(dòng) 60 °c;氣動(dòng) 60 °c |
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使用壽命:1,000,000啟閉次數(shù) |
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公稱通徑:DN16-320 mm |
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HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品部件圖

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