Temptronic ThermoChuck
上海伯東美國(guó) inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 是用于晶圓測(cè)試的導(dǎo)電加熱和冷卻系統(tǒng), 一般搭配晶圓探針臺(tái)共同使用, 提供 -65 至 +200°C 高低溫環(huán)境, 適用晶圓 150 mm, 200 mm, 可用于激光微調(diào) Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測(cè)試, 例如低泄漏探測(cè) (fA級(jí)) 和高電壓探測(cè) (高達(dá)10 kv) , 適用于晶圓, 芯片在電高低溫環(huán)境下的特性描述, 失效分析等. Temptronic ThermoChuck 適合各種廠牌晶圓探針臺(tái), 為確保兼容性, 具體選型還請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東

ThermoChuck 特性
-65 至 +200°C 高低溫環(huán)境
適用晶圓 150 mm, 200 mm
現(xiàn)有探測(cè)站可進(jìn)行改造

ThermoChuck 在售型號(hào)
適用晶圓尺寸: 150 和 200 mm
電壓 115V 或 220V

型號(hào)	溫度范圍°C	冷卻	加熱
TP03000A	-65 to +200°C	機(jī)械制冷, 密閉乙二醇循環(huán)冷卻	熱電
TP03010A	+20 to +200°C	風(fēng)冷或水冷*	熱電
TP03010B	0 to +200°C	密閉乙二醇循環(huán)冷卻或水冷	熱電

* 用戶提供冷卻介質(zhì)

美國(guó) inTEST Thermal Solutions 隸屬于 inTEST Corporation 集團(tuán), 作為超過 50 年的熱測(cè)設(shè)備專家, 在全球范圍內(nèi)提供準(zhǔn)確的溫度控制解決方案. inTEST 品牌包含 Temtronic 熱流儀, Thermonics 超低溫冰水機(jī), Sigma Systems 和 North Sciences. 為芯片溫度測(cè)試, 過程冷卻和生物醫(yī)學(xué)冷藏提供產(chǎn)品和定制解決方案. 上海伯東是美國(guó) inTEST 中國(guó)總代理.

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