模塊化檢漏儀應(yīng)用于電子元器件檢漏系統(tǒng)
上海伯東某生產(chǎn)氦氣檢漏系統(tǒng)公司, 其研發(fā)的小型氦檢漏系統(tǒng)內(nèi)部集成伯東 Pfeiffer 檢漏模塊 ASI 35 用于電子元器件檢漏. 真空模式下, 漏率 5x10-7 mbar l/s.

電子元器件檢漏系統(tǒng)功能
定制腔體內(nèi)放入經(jīng)過(guò)壓氦的電子元器件, 真空模式下, 測(cè)試元件的整體漏率值.

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