Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G
上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G, 抽速 550至 1200 m³/h, 極限壓力 0.003 hPa, 適用于輕型到中型半導(dǎo)體應(yīng)用, 冷原子層沉積工藝, load lock 腔和傳送腔, 計(jì)量, 平版印刷術(shù), 物理氣相沉積, 快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等等

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 特點(diǎn)
性能出色: 先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì), 鐘形懸臂結(jié)構(gòu), 自平衡螺桿, 出色的運(yùn)行品質(zhì), 集成羅茨泵, 非常適用于冷原子層沉積工藝, load lock 腔和傳送腔, 計(jì)量, 平版印刷術(shù), 物理氣相沉積, 快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等等
高效: 擁有成本低, 維護(hù)少, 保養(yǎng)間隔長(zhǎng), 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng), 直接水冷卻
結(jié)構(gòu)緊湊: 密閉式設(shè)計(jì), 直聯(lián)的罐裝電機(jī), 前級(jí)泵和羅茨泵組合安裝于底座上

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 規(guī)格

技術(shù)參數(shù)	COBRA BC 0601 G	COBRA BC 1001 G	COBRA BC 1200 A
額定抽速	550 m³/h	870 m³/h	1200 m³/h
極限壓力	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)
前級(jí)泵電機(jī)額定功率	1.5 kW	1.5 kW	1.5 kW
羅茨真空泵電機(jī)額定功率	1.5 kW	2.9 kW	4.0 kW
功耗（怠速模式）	1.7 kW	1.2 kW	1.3 kW
極限壓力時(shí)的功耗	1.7 kW	1.7 kW	1.9 kW
前級(jí)泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速	3000 min?¹	3000 min?¹	3000 min?¹
羅茨真空泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速	3000 min?¹	5400 min?¹	5400 min?¹
噪聲級(jí)（ISO 2151）	62 dB(A)	62 dB(A)	62 dB(A)
耗水量	min. 3,0 – 4,0 l/min	min. 3,0 – 4,0 l/min	min. 4,0 – 5,0 l/min
氮?dú)庀牧?/p>	0 – 70 l/min	0 – 70 l/min	0 – 70 l/min
重量（約）	315 kg	310 kg	360 kg
尺寸（L x W x H）	905 x 354 x 660 mm	1054 x 425 x 615 mm	1054 x 425 x 615 mm
進(jìn)氣口	DN 63 ISO-K	DN 100 ISO-K	DN 160 ISO-K
排氣口	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 應(yīng)用
沼氣處理: 升級(jí) - 變壓吸附
半導(dǎo)體生產(chǎn): 中型
太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè): 物理氣相沉積 PVD

不同行業(yè)和應(yīng)用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設(shè)備的公司, 更是針對(duì)不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新項(xiàng)目應(yīng)用的公司!

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