殘余氣體分析儀應(yīng)用于高溫真空爐, 實(shí)現(xiàn)質(zhì)量保證和過(guò)程優(yōu)化
上海伯東某客戶(hù)生產(chǎn)研發(fā) X 射線管及組件, 使用德國(guó) Pfeiffer Hicube RGA 殘余氣體分析儀與高溫真空爐連接, 測(cè)試產(chǎn)品在不同溫度下?lián)]發(fā)的產(chǎn)物變化, 進(jìn)一步分析產(chǎn)品的耐用性以及使用形態(tài). 實(shí)現(xiàn)真空過(guò)程相關(guān)的質(zhì)量控制, 滿(mǎn)足 X 射線管工藝要求.

殘余氣體分析儀質(zhì)量保證和過(guò)程優(yōu)化
諸如提供氣體成分定量測(cè)定, 確定過(guò)程氣體純度, 以及監(jiān)測(cè)高溫真空爐工藝過(guò)程相關(guān)氣體成分等能力,  殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過(guò)程記錄和質(zhì)量保證中的重要工具. 即使測(cè)量正在執(zhí)行, 所有測(cè)量值也會(huì)得到存儲(chǔ), 并且可以在不停止測(cè)量的情況下追蹤. 即使仍在執(zhí)行測(cè)量, 也可以導(dǎo)出測(cè)量結(jié)果以進(jìn)行進(jìn)一步分析.


上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 進(jìn)樣口為 DN16 ISO-K 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭, 可以根據(jù)客戶(hù)需求, 選擇不同的連接接口, 通過(guò)調(diào)整 EVN 116 氣體計(jì)量閥實(shí)現(xiàn)進(jìn)樣, 進(jìn)樣氣體流量可調(diào)整, 自 5X10^-6 至 3X10³ hPa l/s.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術(shù)規(guī)格

渦輪分子泵組	HiCube™ Eco
功耗	170W
電壓（范圍）	110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮?dú)獬樗?/p>	67 l/s
前級(jí)泵在 50 Hz 時(shí)的泵送速度	1 m3/h
極限真空	<1X10-7 hPa
真空計(jì)	PKR 361
測(cè)量范圍	1X10-9 至 1X103 hPa
閥門(mén)	EVN 116
氣體流量	可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
進(jìn)氣口	DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1	QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測(cè)器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300	1–100	1–200	1–300
四極桿直徑／長(zhǎng)度	6 /125 mm
最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-	-	-
最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15	4X10-15	5X10-15
對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4	4X10-4	3X10-4
最大工作壓力 F hPa	5X10-4
最大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5	5X10-5	5X10-5
對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度 分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度 電子	5 – 50 °C
烘烤溫度 分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時(shí)間	1 ms – 16 s/amu
峰比值可重復(fù)性	± 0.5 %
接口	以太網(wǎng)
電源電壓	100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube™ RGA重量	25.5 - 26.2 kg

上海伯東銷(xiāo)售維修德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA.  四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過(guò)程監(jiān)測(cè), 泄漏檢測(cè).

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