德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號(hào)
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號(hào), 適合與進(jìn)氣系統(tǒng)組合使用, 并具有低氣體消耗和高信噪比的特點(diǎn). 殘余氣體分析儀 PrismaPro 模塊化設(shè)計(jì)滿足多種應(yīng)用: 例如工業(yè) ( 冷凍干燥 )和分析儀器, 研發(fā), 半導(dǎo)體生產(chǎn)和真空鍍膜技術(shù)等.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測(cè)器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極桿直徑／長(zhǎng)度	6 / 125 mm
最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-		-	-
最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15		4X10-15	5X10-15
對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4		4X10-4	3X10-4
最大工作壓力 F hPa	5X10-4
最大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5		5X10-5	5X10-5
對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度 分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度 電子	5 – 50 °C
烘烤溫度 分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時(shí)間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* 1  開放式離子源
* 2  停留時(shí)間 4秒
* 3   與 C-SEM 相比, 具有較高的靈敏度

若您需要進(jìn)一步的了解殘余氣體分析儀詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東：葉小姐                             臺(tái)灣伯東：王小姐
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